羅茨真空泵前級(jí)泵如何選擇？

羅茨真空泵不能單獨(dú)使用，必須配備前級(jí)泵以構(gòu)成一個(gè)單元。前級(jí)真空泵用于降低羅茨真空泵的排放壓力。由于羅茨真空泵的壓縮比受到限制，因此前級(jí)真空泵的泵送速度為：重要的是，羅茨真空泵的壓縮比隨排氣壓力而變化。在高排氣壓力下，壓縮比最大為3：1，壓縮比在1到10 mbar（1mbar = 0.75 Torr）之間，最高為50：1，甚至更高。因此，前級(jí)泵的抽速是根據(jù)羅茨真空泵的長(zhǎng)期工作壓力范圍選擇的。例如，有一個(gè)使用羅茨真空泵裝置進(jìn)行泵送的系統(tǒng)，該系統(tǒng)需要在1 mbar的入口壓力下以600升/秒的速度泵送泵，并需要長(zhǎng)期工作。詢(xún)問(wèn)應(yīng)選擇多少個(gè)前級(jí)泵。首先假設(shè)使用30 l / s的前級(jí)泵時(shí)，壓縮比K = 600：30 = 20，在K = 20時(shí)給出30 mbar的排氣壓力。由此可以得出結(jié)論，當(dāng)30升/秒的前級(jí)泵時(shí)如果選擇，則可以在低于1.5 mbar的入口壓力下工作，但是當(dāng)入口壓力高于1.5 mbar時(shí)，則選擇更大的前級(jí)泵。在此示例中，1 mbar的工作真空度小于1.5 mbar，因此30升/秒的前級(jí)泵可以滿(mǎn)足上述真空系統(tǒng)的泵送要求。此外，應(yīng)考慮到，如果正常工作時(shí)間比預(yù)泵送時(shí)間長(zhǎng)得多，則可以選擇更小的前級(jí)泵。如果真空室很大，并且需要快速預(yù)抽，則應(yīng)使用它。較大的前級(jí)泵有時(shí)會(huì)配備較大的預(yù)泵，以提高設(shè)備效率。正常運(yùn)行后將其停止，并使用較小的前級(jí)泵進(jìn)行維護(hù)。這是為了節(jié)省電量。選擇前級(jí)泵時(shí)，還必須考慮對(duì)羅茨真空泵單元的極限壓力的要求。為了達(dá)到最高真空度（最高壓力為1X10-3Pa?1X10-2Pa），可以使用兩級(jí)旋轉(zhuǎn)葉片油封機(jī)械泵或兩級(jí)滑閥機(jī)械泵作為前級(jí)泵。極限真空度在（1X10-2Pa?1X10-1Pa）之間，前級(jí)泵可以使用單級(jí)油封機(jī)械泵，極限真空度在1333-1333Pa之間，為往復(fù)真空泵或液環(huán)真空泵可用作前泵。當(dāng)使用往復(fù)式或液環(huán)粗真空泵作為羅茨真空泵的前級(jí)泵時(shí)，前級(jí)泵的抽速通常為羅茨真空泵的1 / 2-1 / 4，不能太大。壓縮比將過(guò)大，從而導(dǎo)致羅茨真空泵的排氣溫度過(guò)高而無(wú)法正常工作。在選擇前級(jí)泵時(shí)，我們還必須考慮泵送氣體中是否含有腐蝕性介質(zhì)，以及該介質(zhì)中是否含有可冷凝氣體（無(wú)論是大量還是微量）。如果包含腐蝕性氣體，則不能使用油封機(jī)械泵。油封機(jī)械泵不適用于泵送含有大量可冷凝蒸汽的氣體，否則它將很快乳化密封液并清除含有少量冷凝蒸汽的氣體。帶有氣鎮(zhèn)裝置的設(shè)備也必須用作前級(jí)泵。為了在低入口壓力（1?100pa）下獲得高抽速，可以將羅茨真空泵用作由另一臺(tái)羅茨真空泵的前級(jí)泵組成的三級(jí)或四級(jí)單元。抽速比一般在2?5之間。